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什么是無油真空泵,有哪些特點及應用領域?

更新時間:2020-11-26點擊次數:959
  無油真空泵屬于無油類真空泵常用產品之一,由于不再使用密封液,工作時也不用添加任何真空油,大大提升了所排出空氣的質量,還有一個顯著的特點就是在運作時發出的噪音非常小,不對環境造成任何影響。
  
  無油真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子,偏心地安裝在定缸內,當轉子高速旋轉時,氣體通過進氣管進入過濾消音器內進行過濾,達到靜音的效果,轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,把定子進排出口分離開來,周而復始運轉,進行變容,將吸入氣體,從排氣口排出,從而達到抽氣目的。
  
  無油真空泵特點:
  
  1、該產品無需任何工作介質(無油)可產生潔凈的真空,不產生污染,生產過程中采用新技術和新材料。
  
  2、便于攜帶,移動方便,工作流暢。采用無油潤滑,活塞結構,比普通隔膜泵使用壽命更長久。
  
  3、泵體電機采用耐受性能更好的全銅電機,可保證長久的連續工作和運轉。
  
  4、*的壓力可調式設計,可滿足一定范圍內的真空度和氣體流速。
  
  5、采用進口軸承,運轉平滑,無噪音,使用壽命長久,工作效率高。
  
  6、機身外殼采用合金材料一體式壓鑄成型,保證外觀的整潔和散熱性能。
  
  7、可選配防腐空氣過濾器,避免腐蝕性氣體對泵體配件的損壞,有效防腐蝕。
  
  常見應用領域:
  
  1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
  
  2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
  
  3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求。
  
  4、無油真空泵在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。
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